一种改善铝锡铜合金溅射靶材冷却效果的方法
公开
摘要
本发明属于一种改善铝锡铜合金溅射靶材冷却效果的方法，包括靶材（2），其特征在于将衬管（1）加工上外螺纹，靶材（2）加工上内螺纹，把靶材（2）旋拧在衬管（1）上，安装好后在衬管（1）中心放入加热管组（3），由热偶（4）控制加热温度，大约加热至300~350℃，靶材内表面开始熔化，这时及时停止加热管组（3）加热，此时螺纹嵌入部分的靶材与衬管熔铸为一体，大幅提升冷却效果。
基本信息
专利标题 ：
一种改善铝锡铜合金溅射靶材冷却效果的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114351097A
申请号 ：
CN202210103674.9
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2022-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙英斌白春阳刘英林
申请人 ：
大连金泰协力科技有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市甘井子区凌水镇七贤岭任贤街20号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210103674.9
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
