一种接近式扫描步进光刻机
公开
摘要
本发明提供一种接近式扫描步进光刻机，包括光刻机本体，光刻机本体的加工腔内部底端滑动连接工作台板，光刻机本体后端固定连接伸缩设备的固定部，伸缩设备的活动部穿过光刻机本体并与工作台板连接，工作台板左右两端均固定连接齿条，齿条背离工作台板一端啮合齿轮，光刻机本体的加工腔内部底端前侧位置对称转动连接两个螺杆，且螺杆外端螺纹连接套筒，光刻机本体前端滑动连接盖板，盖板后端对称固定连接两个连接杆，与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：利用伸缩设备，使工作台板移动，并在齿条、齿轮、套筒以及螺杆作用下，使盖板上下运动，达到工作台板运动与盖板开合产生联动的目的，便于使用，提供工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种接近式扫描步进光刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624963A
申请号 ：
CN202210132874.7
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-02-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
胡德立
申请人 ：
江苏微影半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市经济技术开发区希望大道南路18-3号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210132874.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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