台面型红外探测器铟点阵的制备方法及红外探测器、焦平面阵列...
实质审查的生效
摘要
本发明是针对现有技术台面型红外探测器公共电极在爬坡过程中易断裂、UBM膜层组分确定性差，膜层薄可靠性差的不足，提供一种台面型红外探测器铟点阵的制备方法及红外探测器、焦平面阵列芯片和读出电路芯片，制备方法指在芯片衬底具有高度为h3的台面，其中台面的顶部为像元电极区，台面下方为公共电极区，在像元电极区和公共电极区分别制备像元电极和公共电极，台面型红外探测器指包括焦平面阵列芯片和读出电路芯片，焦平面阵列芯片和读出电路芯片上的电极通过相对应的像元电极和公共电极上的铟点阵通过压焊连接，采用本发明提供的台面型红外探测器铟点阵的制备方法及红外探测器、焦平面阵列芯片和读出电路芯片，电极不易受损折断，连接更可靠。
基本信息
专利标题 ：
台面型红外探测器铟点阵的制备方法及红外探测器、焦平面阵列芯片和读出电路芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114512554A
申请号 ：
CN202210134859.6
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2022-02-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘志方季小好
申请人 ：
浙江拓感科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海宁市海昌街道谷水路306号A18二层
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
赵俊宏
优先权 ：
CN202210134859.6
主分类号 ：
H01L31/0224
IPC分类号 ：
H01L31/0224 H01L31/18 G01J5/22 G01J5/24 G01J5/48
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0224
申请日 : 20220214
申请日 : 20220214
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
