一种电子芯片生产加工用电参数测试机
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种电子芯片生产加工用电参数测试机,包括机台,所述机台上设有检测架,所述检测架上安装有检测探针,所述检测架的侧壁上安装有抓取组件,所述抓取组件包括转筒、多个固定杆、多个转动杆及多个吸盘,所述检测架的侧壁开设有驱动槽,所述驱动槽内安装有驱动转筒转动的驱动装置;所述转筒转动连接在检测架的侧壁上,多个所述固定杆等间距固定连接在转筒的侧壁上,所述固定杆的侧壁开设有转槽。本发明在吸盘抓取晶圆进行检测时,可使固定杆及转动杆保持固定相连的直线状态,而在吸盘放置晶圆时,则解除固定杆及转动杆的固定连接,转动杆将在重力作用下自然下垂,如此可使晶圆平落在放置板上而不会发生滚落。
基本信息
专利标题 :
一种电子芯片生产加工用电参数测试机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114545200A
申请号 :
CN202210138267.1
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-02-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
顾海娟
申请人 :
上海旭睿电子科技有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区秀浦路2388号2幢383室
代理机构 :
上海汇齐专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
朱明福
优先权 :
CN202210138267.1
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28 G01R1/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20220215
申请日 : 20220215
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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