本发明公开了一种集成电路芯片平整度检测设备，包括机座，所述机座上表面焊接有立柱，所述立柱固定连接有固定块，所述固定块侧壁固定连接有若干检测仪，所述固定块通过轴承贯穿转动连接有转动块，所述转动块内设置有用于平整度检测的检测机构；所述检测机构包括开设在转动块内侧壁的安装槽，所述安装槽内底壁固定连接有内齿圈，所述固定块内侧壁通过支架固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴过盈配合有第一齿轮，所述第一齿轮与内齿圈啮合，所述转动块开设有八个功能槽。优点在于：本发明相较于现有技术，可以连续且自动化的对芯片进行检测，且可以自动进行上下料与分类，从而大大提高了检测效率，同时降低设备与人力成本。