本发明涉及一种机械手及吸盘，机械手包括吸盘，吸盘用于基于伯努利原理吸附晶圆，吸盘具有相对的第一表面和第二表面并包括金属吸盘本体，金属吸盘本体的第一表面覆盖有绝缘层并设置有多个气孔，吸盘还包括多个沿金属吸盘本体周向分布的绝缘挡块，绝缘挡块用于在晶圆的外围进行限位，且所有绝缘挡块通过导电层与金属吸盘本体连接，导电层用于与晶圆的边缘接触；如此配置，可以确保吸盘在真空释放后成功释放晶圆，降低晶圆破片的风险。