一种芯片加工用微小元件搬运装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种芯片加工用微小元件搬运装置,涉及芯片领域。该芯片加工用微小元件搬运装置,包括中心轴,所述中心轴左侧固定连接有稳定盘,稳定盘的内槽固定连接有吸取套,中心轴右侧转动连接有抓取盘,吸取套固定连接在抓取盘内槽,稳定盘上端固定连接有抓取电机,抓取电机输出端固定连接有推动齿,推动齿外周面啮合有齿圈,齿圈与中心轴转动连接。该芯片加工用微小元件搬运装置,通过采用空气吸盘的方式使元件主动靠近装置,避免按压对元件和主板的损伤,通过在吸盘内部安装吸取套避免微小元件吸入装置,使吸盘针对小型元件仍然有效,达到了不损伤元件的同时进行抓取的效果,解决了抓取按压容易对元件造成损伤的问题。
基本信息
专利标题 :
一种芯片加工用微小元件搬运装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114420613A
申请号 :
CN202210152703.0
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-02-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
仝嘉琪
申请人 :
仝嘉琪
申请人地址 :
河南省三门峡市商务中心区迎宾大道与中心大道西北角湖滨大厦A座19层
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210152703.0
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20220218
申请日 : 20220218
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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