本发明公开了一种基于静电驱动新型MOEMS陀螺仪及其加工方法，MOEMS陀螺仪包括器件层、金属引线层和衬底层，金属引线层介于器件层和衬底层之间。器件层包括机械模块、静电驱动模块、光学敏感模块和支撑框架。其中机械模块由质量块、驱动弹簧梁、敏感弹簧梁和解耦框架构成；静电驱动模块由两组驱动梳齿结构组成；光学敏感模块主要由集成波导、二维光子晶体和机械敏感单元组成；质量块在静电力驱动下沿着驱动轴方向振动，在外加角速度下使机械敏感单元发生位移变化，通过光信号进入集成波导经过二维光子晶体耦合入机械敏感单元，检测输出集成波导出射的光信号变化。本发明结构集成度高、封装尺寸小、低功耗、易于制造和易于携带等特点。