一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备及镀膜方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备,包括真空容器和放卷系统、镀膜辊及收卷系统,基材经过镀膜辊后复卷到收卷系统,镀膜辊的外圆周侧部设磁控靶,保护膜从放卷系统上输出后与基材分离,在镀膜辊的输出端设有覆膜卷,保护膜覆在基材表面复卷至收卷系统。一种镀膜方法,包括:通过真空抽气系统和真空测量系统使真空容器内部满足真空条件;放卷系统传送带保护膜的基材缠绕在镀膜辊前,先将保护膜撕除卷绕在撕膜卷上;镀膜辊外圆周处设磁控靶对镀膜辊表面的基材进行镀膜;基材表面贴覆保护膜后复卷在收卷系统上。本发明可对带保护膜的薄膜基材进行撕膜镀膜,镀膜完后再贴覆保护膜进行收卷,实现单面镀膜和双面镀膜的功能。

基本信息
专利标题 :
一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备及镀膜方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114525492A
申请号 :
CN202210185654.0
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
朱刚劲朱刚毅
申请人 :
广东腾胜科技创新有限公司
申请人地址 :
广东省肇庆市端州区端州一路南宾日大楼侧第一卡厂房之二
代理机构 :
东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨英华
优先权 :
CN202210185654.0
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56  C23C14/35  C23C14/58  C23C14/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/56
申请日 : 20220228
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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