一种高导热氮化硅基板的成型方法
公开
摘要

本发明公开了一种高导热氮化硅基板的成型方法,成型工艺步骤如下:S1:配料和球磨:将有机单体和交联剂加入溶剂配置呈预混液,然后将预混液、分散剂和氮化硅及助剂陶瓷粉体混合进行球磨;S2:加入增塑剂,增加流延成型后氮化硅薄片的柔韧性。然后进行二次球磨,球磨时间为4h‑30h;S3:真空除泡,将二次球磨得到的浆料进行真空除泡,同时加入引发剂加以搅拌;S4:凝胶流延,将真空除泡得到的浆料进行流延操作;S5:薄片干燥,薄片在固化一定时间后具有一定强度和韧性,进行干燥处理。本发明采用凝胶及流延结合的技术,综合两种成型的优点,降低生产成本,减少环境污染,实现高性能氮化硅陶瓷基片的制备。

基本信息
专利标题 :
一种高导热氮化硅基板的成型方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114538935A
申请号 :
CN202210267457.3
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-03-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
邹景良徐鹏庄新江
申请人 :
天津硕科科技有限公司
申请人地址 :
天津市武清开发区泉发路21号3号厂房
代理机构 :
北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘爽
优先权 :
CN202210267457.3
主分类号 :
C04B35/584
IPC分类号 :
C04B35/584  C04B35/622  C04B35/626  C04B35/632  C04B35/634  B28B1/29  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/515
以非氧化物为基料的
C04B35/58
以硼化物、氮化物或硅化物为基料的
C04B35/584
以氮化硅为基料的
法律状态
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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