一种异形玻璃通孔的加工方法
公开
摘要
本发明公开了一种异形玻璃通孔的加工方法，包括以下步骤：A、对玻璃晶圆的目标区域进行激光处理，令目标区域形成预设小孔；B、对玻璃晶圆进行表面前处理；C、调节超声设备的输出参数，将装有蚀刻液的容器放于超声设备加热至所需温度；D、将表面前处理后的玻璃晶圆浸泡至蚀刻液进行蚀刻；E、对玻璃晶圆进行表面后处理，得到异形玻璃通孔。本技术方案提出的一种异形玻璃通孔的加工方法，利用激光结合超声导向湿刻蚀的方式对异形玻璃通孔进行加工，有利于解决现有玻璃通孔均为圆柱通孔而带来的无法满足信号传输全部功能的技术问题，能有效解决现有玻璃通孔的加工方法造成的精度低、成本低、过孔结构差和刻蚀速率低的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种异形玻璃通孔的加工方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114560634A
申请号 ：
CN202210312892.3
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈云李彪董善坤钟一鸣刘作辉侯茂祥陈新
申请人 ：
广东工业大学
申请人地址 ：
广东省广州市越秀区东风东路729号
代理机构 ：
佛山市禾才知识产权代理有限公司
代理人 ：
何慧敏
优先权 ：
CN202210312892.3
主分类号 ：
C03C15/00
IPC分类号 ：
C03C15/00 C03B33/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C15/00
纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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