静电沉积器的气体调节装置

专利权的终止专利权有效期届满

摘要

工厂静电沉积器中能接受空气源及含硫气源的装置包括：气态氧化硫的源具输入口和输出口并与空气源及含硫气源相连能至少提供气态氧化硫，具输出口且其输入口与气态氧化硫的源相连并转化气态氧化硫成调节介质的转化器；与转化器的出口相连并提供表示转化器出口的转化温度信号的传感器与气态氧化硫的源及传感器相连以便按转化温度信号改变与流入装置中的气流相关的能量传递速率的调制器；与转化器的出口相连以输送调节介质至■积器的输送装置。

基本信息

专利标题：

静电沉积器的气体调节装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN85104328A

申请号：

CN85104328.3

公开（公告）日：

1986-12-03

申请日：

1985-06-07

授权号：

CN1013834B

授权日：

1991-09-11

发明人：

特利尼福特

申请人：

贝尔科科技公司

申请人地址：

美国新泽西州利文斯顿

代理机构：

中国专利代理有限公司

代理人：

杨厚昌

优先权：

CN85104328.3

主分类号：

B03C3/01

IPC分类号：

B03C3/01