斜行光干涉仪伸缩计量方法及装置
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
一种斜行光干涉仪伸缩计量方法及装置。属于长度计量技术领域。本发明方法采用二支或二支以上光束，利用不同行进方向光束的干涉光极大值间距对应于不同伸缩位移量间的关系，求出待测量值。本发明装置采用普通非稳频激光器和简单法布里·白洛干涉仪，通过干涉仪、分束镜和反射镜的放置，以及测出干涉光极大值对应的压电陶瓷电压值，实现上述方法。本发明可使量程达50λ以上，具有埃量级的分辨力。
基本信息
专利标题 ：
斜行光干涉仪伸缩计量方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN86104916A
申请号 ：
CN86104916.0
公开（公告）日 ：
1988-02-17
申请日 ：
1986-08-08
授权号 ：
CN1005648B
授权日 ：
1989-11-01
发明人 ：
李志超黄文浩
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市金寨路24号
代理机构 ：
中国科学院合肥专利事务所
代理人 ：
赵乌兰
优先权 ：
CN86104916.0
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
1992-12-09 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1990-06-27 ：
授权
1989-11-01 ：
审定
1988-02-17 ：
公开
1987-04-22 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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