感应耦合等离子体质量分析仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明的感应耦合等离子体分析仪预先使静电屏蔽装置保持于接地电位，等离子体由于这种静电屏蔽，与感应线圈产生的电场屏蔽隔离，从而保持与静电屏蔽装置几乎相同的接地电位。因此所产生的离子的电压变化得以抑制，同时由等离子体取出的离子的能量也较低，且其能量范围也小，从而使质量分析仪的分辨率得到了改善。另外，在小孔间产生的收缩放电也受到抑制，从而防止了紫外线噪声的产生。
基本信息
专利标题 ：
感应耦合等离子体质量分析仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN87104633A
申请号 ：
CN87104633.4
公开（公告）日 ：
1988-01-20
申请日 ：
1987-07-06
授权号 ：
CN1007852B
授权日 ：
1990-05-02
发明人 ：
御石浩三
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
李强
优先权 ：
CN87104633.4
主分类号 ：
H01J49/10
IPC分类号 ：
H01J49/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/02
零部件
H01J49/10
离子源；离子枪
法律状态
2003-08-27 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-03-20 ：
其他有关事项
1991-01-02 ：
授权
1990-05-02 ：
审定
1989-08-23 ：
实质审查请求
1988-01-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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