光刻生产角度尺寸专用夹具
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及光刻加工角度尺在主尺及光刻加工角度尺游标尺的专用夹具本发明是应用光刻的原理，将已加工成形的主尺和呈内圆锥曲面的游标尺置于夹具中，以完成光刻加工的爆光工序。应用本夹具来光刻生产角度尺具有生产效率高，质量稳定可靠，表面美观，可全镀等特点，由于省出昂贵的精密圆刻机床。因而具有较高的经济效益。
基本信息
专利标题 ：
光刻生产角度尺寸专用夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1031610A
申请号 ：
CN87105681.X
公开（公告）日 ：
1989-03-08
申请日 ：
1987-08-22
授权号 ：
CN1009583B
授权日 ：
1990-09-12
发明人 ：
李文玉
申请人 ：
长春第一汽车制造厂
申请人地址 ：
吉林省长春市东风大街44号
代理机构 ：
第一汽车制造厂专利事务所
代理人 ：
刘玉仁
优先权 ：
CN87105681.X
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
1993-06-30 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-05-06 ：
授权
1990-09-12 ：
审定
1990-02-07 ：
实质审查请求
1989-03-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
