一种新型光刻膜尺寸检测设备

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种新型光刻膜尺寸检测设备，包括挡片和测量主尺，所述挡片安装在测量主尺的最右端，所述挡片和测量主尺通过螺丝固定连接，所述测量主尺最左端底部设置有左外测量爪，所述测量主尺靠近右端顶部设置有左内测量爪，通过在该光刻膜尺寸检测设备上的游标尺底部增加有一个精密调节装置，通过该新型的精密调节装置能够带动游标尺在测量主尺上进行滑动测量，且在使用该精密调节装置带动游标尺在测量主尺上进行测量滑动时能够进行微调操作，从而能够增加游标尺测量调节的精度，使得整个尺寸检测设备能够对尺寸的测量能够更加精细准确，同时也能够减小测量误差，从而使得整个尺寸检测设备能够更加符合检测光刻膜这种精密材料。

基本信息

专利标题：

一种新型光刻膜尺寸检测设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921752310.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-18

授权号：

CN210400214U

授权日：

2020-04-24

发明人：

高凡

申请人：

昆山百利合电子材料有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市周市镇陆杨富杨路6号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921752310.3

主分类号：

G01B3/18

IPC分类号：

G01B3/18