一种改进大功率双向晶闸管换向能力的方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是一种用于12Mev电子辐照提高大功率双向晶闸管换向能力的方法。通过三种不同方式的辐照和辐照后的退火工艺，来实现器件全面参数的最佳化，这一新工艺可使双向晶闸管的成品率明显提高，将会创造一定的经济效益。
基本信息
专利标题 ：
一种改进大功率双向晶闸管换向能力的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1062238A
申请号 ：
CN91104569.4
公开（公告）日 ：
1992-06-24
申请日 ：
1991-07-10
授权号 ：
CN1022718C
授权日 ：
1993-11-10
发明人 ：
赵善麒
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
130023吉林省长春市解放大路83号
代理机构 ：
吉林大学专利事务所
代理人 ：
张凯军
优先权 ：
CN91104569.4
主分类号 ：
H01L21/263
IPC分类号 ：
H01L21/263 H01L21/324
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18
器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/26
用波或粒子辐射轰击的
H01L21/263
带有高能辐射的
法律状态
1995-09-06 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-11-10 ：
授权
1992-06-24 ：
公开
1992-06-03 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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