高精度激光腔变位移/折射率测量方法及其装置

专利权的终止

摘要

本发明属于激光测量技术领域，本发明提出一种激光腔变位移／空气折射率测量方法，利用氦氖激光器腔内光程差或腔长变化会引起输出功率出现兰姆凹陷、换模凹陷及频率分裂量改变的现象，通过将被测物与腔反射镜固定在一起，或腔内引起空气折射率的变化，测出功率周期性出现的凹陷数，即可得到被测物位移量或腔内空气折射率的变化值。该方法的实现装置结构简单，成本低，装配调整容易，测量精度高。适用于测量位移及空气折射率的各种场合。

基本信息

专利标题：

高精度激光腔变位移/折射率测量方法及其装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1103161A

申请号：

CN93114899.5

公开（公告）日：

1995-05-31

申请日：

1993-11-26

授权号：

CN1048553C

授权日：

2000-01-19

发明人：

张书练金国藩

申请人：

清华大学

申请人地址：

100084北京市海淀区清华园

代理机构：

清华大学专利事务所

代理人：

廖元秋

优先权：

CN93114899.5

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02 G01N21/41