溅射靶材用镍基镍铜铬锰系电阻合金
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要

一种溅射靶材料用镍基的镍铜铬锰系低电阻合金,其化学成分(重量%)为Cu28~43%、Cr9~14%、Mn8~14%,Ni余量,该合金的电阻率小于1Ωmm2/M,适用制做低阻值溅射靶,与镍铬硅溅射靶相比,在同样条件下用溅射法生产小于1Ω的低阻值金属膜电阻,用该合金制做的溅射靶,其溅射所需时间可降至二分之一。

基本信息
专利标题 :
溅射靶材用镍基镍铜铬锰系电阻合金
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1103434A
申请号 :
CN93120336.8
公开(公告)日 :
1995-06-07
申请日 :
1993-12-03
授权号 :
CN1039245C
授权日 :
1998-07-22
发明人 :
党绪邦陈溪有傅子文张伯超
申请人 :
浙江省冶金研究所
申请人地址 :
310007浙江省杭州市天目山路2号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN93120336.8
主分类号 :
C22C19/05
IPC分类号 :
C22C19/05  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C22
冶金;黑色或有色金属合金;合金或有色金属的处理
C22C
合金
C22C19/00
镍或钴基合金
C22C19/03
镍基合金
C22C19/05
含铬的
法律状态
2001-01-24 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-07-22 :
授权
1995-10-25 :
实质审查请求的生效
1995-06-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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