夹紧装置和用于传送基片的传送机构

专利权的视为放弃

摘要

一种夹紧装置，包括沿垂直方向固定的夹爪(15)；沿垂直方向可移动的夹爪(16)；以及用于向可移动夹爪(16)施加力的力传感器。可移动夹爪(16)是弯曲的。力传感器优选地包括线圈(21)和铁芯(22)。在夹紧装置的未夹紧状态，可移动夹爪(16)由铁芯(22)的重量加载。为了夹紧，电流施加于线圈(21)，产生磁场，将铁芯(22)压靠于可移动夹爪(16)。

基本信息

专利标题：

夹紧装置和用于传送基片的传送机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1761046A

申请号：

CN200510107070.8

公开（公告）日：

2006-04-19

申请日：

2005-09-29

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

吉恩－巴普蒂斯特·贝尔塞梅尔廷·德弗洛林帕斯卡尔·梅内

申请人：

优利讯国际贸易有限责任公司

申请人地址：

瑞士卡姆

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

谢丽娜

优先权：

CN200510107070.8

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/677

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/683

用于支承或夹紧的

H01L21/687

使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子

法律状态

2012-03-21 ：

专利权的视为放弃

号牌文件类型代码 : 1606
号牌文件序号 : 101207109955
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利申请号 : 2005101070708
放弃生效日 : 20060419

2011-03-23 ：

发明专利更正

发明专利公报更正号牌文件类型代码 : 1608
号牌文件序号 : 101074293157
卷 : 26
号 : 32
页码 : 无
申请号 : 2005101070708
IPC(主分类) : H01L0021687000
修正类型代码 : 无
更正项目 : 专利申请公布后的驳回
误 : 驳回
正 : 撤销驳回

2010-08-11 ：

发明专利申请公布后的驳回

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101003963790
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利申请号 : 2005101070708
公开日 : 20060419

2008-11-05 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 优利讯国际贸易有限责任公司
变更后权利人 : 优利讯施韦兹有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 瑞士卡姆
变更后权利人 : 瑞士卡姆
登记生效日 : 20081010

2007-12-05 ：

实质审查的生效

2006-04-19 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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