固态成像器件及其制造方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明减小固态成像器件的暗电流。一种包含光电二极管的固态成像器件包括：在N型半导体衬底的表面上与光电二极管并排布置的扩散层；在扩散层上设置的第一多晶硅电极；在第一多晶硅电极上设置的第一Al互连；连接第一Al互连的下表面和第一多晶硅电极的接触栓塞；以及有选择地设置在接触栓塞内的附着膜，该附着膜是含钛膜。
基本信息
专利标题 ：
固态成像器件及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1763966A
申请号 ：
CN200510113430.5
公开（公告）日 ：
2006-04-26
申请日 ：
2005-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
打矢聪守屋太郎山本淳一
申请人 ：
恩益禧电子股份有限公司
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
穆德骏
优先权 ：
CN200510113430.5
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146 H01L23/52 H01L21/822 H01L21/768
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法律状态
2008-10-15 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-06-14 ：
实质审查的生效
2006-04-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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