图案检查装置

专利权的终止

摘要

本发明的课题是，使布线部分与树脂薄膜部分的对比度增加，而可以通过反射照明容易地检测出布线图案。形成有布线图案的TAB带(5)，从送出卷线机(11)被卷出而送到检查部(1)。在检查部(1)中，用反射照明单元(1a)照明，用摄像单元(1b)来拍摄TAB带(5)上的检查图案。被拍摄的检查图案的图像被送到控制部(4)，与基准图案比较来判断图案是否合格。反射照明单元(1a)的光源，例如为仅发射波长大于等于500nm的光的例如红外LED。因为仅用透过TAB带(5)的波长大于等于500nm的光照射，故可以得到对比度优良的图像。另外，使载物台(1c)的红外线反射率小于等于10％，或不设置载物台(1c)，能够得到对比度更优良的图像。

基本信息

专利标题：

图案检查装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1763511A

申请号：

CN200510113806.2

公开（公告）日：

2006-04-26

申请日：

2005-10-12

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

永森进一林宏树

申请人：

优志旺电机株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

胡建新

优先权：

CN200510113806.2

主分类号：

G01N21/956

IPC分类号：

G01N21/956 H01L21/66