电路图案检查装置及其方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供可以检测衬底上的导电图案的断路状态的电路图案检查装置及其方法。在导电图案的一方端部配置供电部12，以非接触的方式提供检查信号，在该导电图案的另外一方端部配置断路传感器13，用来以非接触的方式检测检查信号。另外，在离开该导电图案多个图案的距离的导电图案，在配置有断路传感器13的同一侧的端，以非接触状态配置噪声传感器19。将断路传感器13检测到的检查信号和噪声混合的信号，和噪声传感器检测到的未与检查信号混合的噪声的信号输入到差动放大器20，用来除去同相成分的信号的噪声，藉以排除噪声的影响，可以以非接触的方式准确检查被配置在衬底上行状的导电图案是否良好。
基本信息
专利标题 ：
电路图案检查装置及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101107535A
申请号 ：
CN200680002731.3
公开（公告）日 ：
2008-01-16
申请日 ：
2006-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
羽森宽山冈秀嗣石冈圣悟
申请人 ：
OHT株式会社
申请人地址 ：
日本广岛县
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
程伟
优先权 ：
CN200680002731.3
主分类号 ：
G01R31/02
IPC分类号 ：
G01R31/02
法律状态
2008-09-24 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-01-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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