光学膜层厚度均匀性的监测方法
专利权的终止
摘要

一种光学膜层厚度均匀性的监测方法,该光学薄膜层具有红、绿及蓝色光滤光层,该方法包含:提供一全频谱偏振可见光以一第一角度投射在该光学薄膜层上;以一侦测接收器以该第一角度侦测接收穿透该光学薄膜层的一透射光;以及将该透射光各波长的强度与对应波长做图而得一第一曲线;其中,当该第一曲线出现不连续部分,藉由该不连续部分所在的波长可得知红、绿色光滤光层间或是绿、蓝色光滤光层间的厚度是否出现异常落差。

基本信息
专利标题 :
光学膜层厚度均匀性的监测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1752713A
申请号 :
CN200510120244.4
公开(公告)日 :
2006-03-29
申请日 :
2005-11-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈卿峰万仁文杜振宇郑谨绪郑世璋杨智宏郑孟杰彭中宏蔡淑芬吕志宏
申请人 :
友达光电股份有限公司
申请人地址 :
台湾新竹市
代理机构 :
北京市柳沈律师事务所
代理人 :
陶凤波
优先权 :
CN200510120244.4
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  G01M11/00  G02F1/13  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2021-10-19 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01B 11/06
申请日 : 20051107
授权公告日 : 20070912
终止日期 : 20201107
2007-09-12 :
授权
2006-05-24 :
实质审查的生效
2006-03-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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