烘焙装置、冷却加热板的方法及基板处理设备和方法
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明提供一种对烘焙装置中使用的加热板进行冷却的方法。根据该方法，通过在加热板上提供比该加热板温度更低的温度调整板，利用该温度调整板来冷却所述加热板。用于冷却基板的冷却板使所述温度调整板冷却之后，将该温度调整板移动至所述加热板。
基本信息
专利标题 ：
烘焙装置、冷却加热板的方法及基板处理设备和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1940730A
申请号 ：
CN200510123420.X
公开（公告）日 ：
2007-04-04
申请日 ：
2005-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姜熙荣任盛焕
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
武玉琴
优先权 ：
CN200510123420.X
主分类号 ：
G03F7/26
IPC分类号 ：
G03F7/26 G03F7/38 G03F7/40
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
法律状态
2012-06-27 ：
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101391929155
IPC(主分类) : G03F 7/26
专利申请号 : 200510123420X
公开日 : 20070404
号牌文件序号 : 101391929155
IPC(主分类) : G03F 7/26
专利申请号 : 200510123420X
公开日 : 20070404
2007-05-30 ：
实质审查的生效
2007-04-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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