冷却盘、烘焙单元和基板处理设备
授权
摘要
一种烘焙单元，包括用于冷却基板的冷却盘和用于将基板装于冷却盘上的升降柱组件。当晶片在冷却盘上冷却时，在该冷却盘上有引导槽，其使该晶片与冷却盘之间有与外面连通的空隙。这样，使该空隙的内部气压与其外部气压维持一致。
基本信息
专利标题 ：
冷却盘、烘焙单元和基板处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1955849A
申请号 ：
CN200510123421.4
公开（公告）日 ：
2007-05-02
申请日 ：
2005-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔晋荣咸俊镐金泰洙李东法
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
武玉琴
优先权 ：
CN200510123421.4
主分类号 ：
G03F7/26
IPC分类号 ：
G03F7/26 H01L21/027 H01L21/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
法律状态
2011-05-11 ：
授权
2007-06-27 ：
实质审查的生效
2007-05-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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