基板处理液回收单元及具有该单元的基板处理装置
公开
摘要
本发明提供清洗效率提高的基板处理液回收单元及具有基板处理液回收单元的基板处理装置。所述基板处理装置包括：基板支承单元，支承基板；以及基板处理液回收单元，围绕基板支承单元，并且回收向基板喷出的基板处理液，并且具有第一回收桶，其中，第一回收桶包括：第一基底，通过第一回收线将基板处理液排出到外部，并且包括设置在基板支承单元的一侧的第三部分和设置在基板支承单元的另一侧的第四部分；第一侧壁，从第一基底的一端向上延伸；第一上板，从第一侧壁的端部向上倾斜地延伸；以及第一内壁，从第一基底的另一端向上延伸，其中，第三部分和第四部分具有不同的高度。
基本信息
专利标题 ：
基板处理液回收单元及具有该单元的基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114558821A
申请号 ：
CN202111062729.8
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2021-09-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔叡珍方炳善姜兑昊文钟元
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王达佐
优先权 ：
CN202111062729.8
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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