用于处理基板的头部维护单元和设备
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种用于处理基板的头部维护单元和设备，该设备包括：头部单元，该头部单元包括形成有一个或多个喷嘴的头部，该一个或多个喷嘴将处理液排放到基板；以及头部维护单元，该头部维护单元配置为对头部进行维护，其中，该头部维护单元可以包括：液体接收块，该液体接收块形成有一个或多个液体接收部件，该一个或多个液体接收部件具有液体接收空间，液体接收空间带有敞开的顶部；减压管线，该减压管线与液体接收空间流体连通、并配置为向液体接收空间提供减小的压力；和减压阀，该减压阀安装在减压管线中。
基本信息
专利标题 ：
用于处理基板的头部维护单元和设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114536982A
申请号 ：
CN202111337342.9
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李炳周李相和李东润郑至容全汉石权康郑载勋金相薰
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
代理机构 ：
北京中博世达专利商标代理有限公司
代理人 ：
张凯
优先权 ：
CN202111337342.9
主分类号 ：
B41J2/14
IPC分类号 ：
B41J2/14 B41J2/165 B41J2/01 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B41
印刷；排版机；打字机；模印机
B41J
打字机；选择性印刷机构，即不用印刷的印刷机构；排版错误的修正标记的记录载体入G06K；免费证或票券印刷及发行设备入G07B；电键式开关一般入H01H13/70，H03K17/94；与键盘或类似装置相关的编码一般入H03M11/00；传递数字信息的接收或发送机入H04L；文件或
B41J2/00
以打印或标记工艺为特征而设计的打字机或选择性印刷机构
B41J2/005
特征在于使液体或粉粒有选择地与印刷材料接触
B41J2/01
油墨喷射
B41J2/135
喷嘴
B41J2/14
其结构
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B41J 2/14
申请日 : 20211112
申请日 : 20211112
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
