具有多顶侧接触的垂直腔面发射激光器
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种具有未掺杂镜的VCSEL。在衬底上形成基本上未掺杂的底部DBR镜。在该底部DBR镜上形成周期性掺杂的第一传导层区。在光电场为约最小值处重度掺杂该第一传导层区。在第一传导层区上为包括量子阱的活性层。周期性掺杂的第二传导层区连接到该活性层。在光电场为最小值处重度掺杂该第二传导层区。在位于量子阱上方的外延结构中形成孔径。顶部镜连接到该周期性掺杂的第二传导层区。该顶部镜基本上未掺杂并且形成为台地结构。在该台地结构周围形成氧化物以在湿氧化工艺期间保护该顶部镜。
基本信息
专利标题 ：
具有多顶侧接触的垂直腔面发射激光器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101432936A
申请号 ：
CN200580032469.2
公开（公告）日 ：
2009-05-13
申请日 ：
2005-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
拉尔夫·H·约翰逊斯科特·R·彭纳罗伯特·詹姆斯·比亚德科尔比·菲茨杰拉德
申请人 ：
菲尼萨公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN200580032469.2
主分类号 ：
H01S4/00
IPC分类号 ：
H01S4/00
法律状态
2021-09-14 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01S 5/183
申请日 : 20050929
授权公告日 : 20110202
终止日期 : 20200929
申请日 : 20050929
授权公告日 : 20110202
终止日期 : 20200929
2011-02-02 ：
授权
2009-07-08 ：
实质审查的生效
2009-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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