本发明是有关于一种减少光罩沉淀缺陷的方法，在一半导体生产制程中，有一运送光罩的容器，而光罩包括一由绝缘材料制成的基底，且此基底表面沉积了一金属层。本发明揭露一种隔离和移除环境污染物的方法，此方法包括以惰性气体充填此容器，借以清除其中的环境污染物，例如以容器的入口供净化用的惰性气体通入，而容器的出口供容器内的不纯物排出，本发明提高了产品良率、光罩产能以及光罩使用寿命，减少了光罩经过清洁后的关键尺寸损失，以及减少了光罩重工率的不良影响。