改善接合效应的光罩及采用该光罩的曝光方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种改善接合效应的光罩，其包括多个区块，其中，相邻区块接合处是多个非直线形结构。在液晶显示器基板曝光中采用该种非直线形结构的光罩可以改善基板接缝处接合效应，以淡化观赏者察觉接缝边缘的直线效应。本发明还提供一种采用该光罩的曝光方法。
基本信息
专利标题 ：
改善接合效应的光罩及采用该光罩的曝光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1967381A
申请号 ：
CN200510101552.2
公开（公告）日 ：
2007-05-23
申请日 ：
2005-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈弘育
申请人 ：
群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司
申请人地址 ：
518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200510101552.2
主分类号 ：
G03F1/00
IPC分类号 ：
G03F1/00 G03F7/20 G02F1/136 H01L29/786 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
法律状态
2011-07-13 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101114493737
IPC(主分类) : G03F 1/00
专利申请号 : 2005101015522
公开日 : 20070523
号牌文件序号 : 101114493737
IPC(主分类) : G03F 1/00
专利申请号 : 2005101015522
公开日 : 20070523
2007-07-18 ：
实质审查的生效
2007-05-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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