本实用新型公开了一种机械手手爪，它包括安装基板、托框架、定位叉、推杆和驱动装置。安装基板固定在机械手手臂顶端的定位轴上，并可以随着机械手手臂一起升降、平移、或旋转；托框架由不锈钢或其它硬质陶瓷材料制成；其尾部固定在安装基板上，其前端设有一个与标准硅片弧度相同的圆弧形窄挡边，其高度与硅片厚度相等；定位叉安装在托框架的中后部，并可以沿托框架顶面的滑槽前后移动，它由弹性工程塑料制成，其形尤如月牙状；其前叉部由厚渐薄；驱动装置安装基板后部，该驱动装置通过推杆与定位叉相连，驱动定位叉在托框架上前、后移动，使定位叉实现卡紧、松开硅片的目的。本实用新型与被卡持物品接触面积小对其无污染、稳定性好、安全系数高。