本实用新型提供了一种光阻供应管路装置，包括依次顺序连接的光阻瓶，过滤器和喷嘴，其中，在过滤器与喷嘴之间的管路中安装缓冲罐，其位置高于喷嘴的位置，缓冲罐上方装有排气装置，过滤器中的光阻经管路流入缓冲罐，如果管路中含有气泡，由于重力作用气泡会自动浮出光阻，停留在缓冲罐中光阻液面的上方，并最终通过排气装置排出，不含气泡的光阻会经管路流到喷嘴。本实用新型的优点在于可以去除光阻中的气泡，保证光阻的注入情况和涂布情况，改变光阻喷出的速度，装置简单，易于实现，特别是不需在过滤器更换过程中进行排气泡处理，节省了因排气泡的过程而消耗的光阻和工作人员的时间，增加了产品的优良率与减少制造成本。