一种俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具

专利权的终止

摘要

本实用新型揭示了一种用于俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具，包括样品槽、顶杆和自动复位装置，所述顶杆的一端与该自动复位装置相对固定；顶杆受到所述自动复位装置朝向样品槽的力，使其另一端可活动的顶住样品槽。本实用新型实现了单人快速轻易的将样品固定，可同时放置多个样品，且所述自动复位装置的弹簧简单易拆，使用、更换方便。

基本信息

专利标题：

一种俄歇电子能谱表面分析观察截面的夹具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720069735.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-05-11

授权号：

CN201060174Y

授权日：

2008-05-14

发明人：

苏婕王俊杰李明段淑卿

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200720069735.5

主分类号：

G01N23/227

IPC分类号：

G01N23/227

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01N

借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N23/00

利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子

G01N23/22

通过测量材料的二次发射

G01N23/227

测量光电效应，例如，光电子发射显微镜

法律状态

2017-06-23 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101729013180
IPC(主分类) : G01N 23/227
专利号 : ZL2007200697355
申请日 : 20070511
授权公告日 : 20080514
终止日期 : 无

2013-02-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101518794317
IPC(主分类) : G01N 23/227
专利号 : ZL2007200697355
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130118

2008-05-14 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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