简易掩模版翻版夹具
专利权的终止
摘要

本实用新型提供一种简易掩模版翻版夹具,包括:一底座和压盖,所述压盖的中心开设有曝光通孔,压盖的底面位于曝光通孔的外围四周设有一压盖沟槽,该沟槽用容纳一上弹性压条,该弹性压条部分地由沟槽内向外突起;所述底座的上表面设有与所述压盖大小相适配的第一下沉腔体,该腔体边缘对称地设有至少一对定位槽与压盖边缘的向外伸出的定位凸块相适配,第一下沉腔体底部中心设有第二下沉腔体用于容纳待复制工作基板及其上表面的掩模版母版,所述第二下沉腔体的底部四周设有一底座沟槽,该沟槽用于容纳一下弹性压条,该弹性压条部分地由沟槽内向外突起;所述底座和压盖通过至少一对对称的螺钉固定。其结构简单,成本低,光刻图形套准精度更高。

基本信息
专利标题 :
简易掩模版翻版夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720121783.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-07-23
授权号 :
CN201060371Y
授权日 :
2008-05-14
发明人 :
吴中海曹均凯
申请人 :
深圳新飞通光电子技术有限公司
申请人地址 :
518057广东省深圳市高新技术产业园南区科技南十二路飞通大厦
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200720121783.4
主分类号 :
G03F1/12
IPC分类号 :
G03F1/12  G03F1/00  
法律状态
2017-08-25 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101743569925
IPC(主分类) : G03F 1/12
专利号 : ZL2007201217834
申请日 : 20070723
授权公告日 : 20080514
终止日期 : 无
2008-05-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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