本实用新型是关于一种为使光罩保持洁净的系统，特别是指一种可长时间、且效果佳的光罩洁净度保持系统，其包含有至少一装置、至少一可选择性启闭的移转容器，其中移转容器可用于承载光罩，而装置可用于承载前述移转容器，且前述装置具有至少一充气单元与至少一排气单元，而前述移转容器具有对应前述装置充、排气单元的进气单元与出气单元，通过本实用新型系统的开发，能确保移转容器内环境的洁净，减少光罩表面微粒附着与雾化现象，同时可进一步加速移转容器硫化物和氨气的释出，以有效控制移转容器内的环境，而能延缓光罩被雾化的时间，以提升光罩储存时的洁净度。