太阳能电池沉积系统中的射频放电装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池沉积系统中的射频放电装置，由一个交流电源和一个高压开关串联后与一个放电负载和一个射频电源并联组成，其特征在于所述放电负载上并联一个高压触发器，该高压触发器通过所述高压开关控制射频电源并向射频电源输送高压，使放电负载稳定放电。本实用新型解决了在电极接触电阻较大、阻抗匹配不佳的情况下反应气体不容易辉光放电的问题，节约了生产时间。

基本信息

专利标题：

太阳能电池沉积系统中的射频放电装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720171858.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-09-18

授权号：

CN201080494Y

授权日：

2008-07-02

发明人：

李毅王春柱

申请人：

李毅

申请人地址：

518029广东省深圳市福田区八卦四路先科机电大厦534室

代理机构：

深圳市毅颖专利商标事务所

代理人：

张艺影

优先权：

CN200720171858.X

主分类号：

C23C16/50

IPC分类号：

C23C16/50 H05H1/34

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C16/00

通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺

C23C16/44

以镀覆方法为特征的

C23C16/50

借助放电的

法律状态

2017-10-31 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : C23C 16/50
申请日 : 20070918
授权公告日 : 20080702

2010-05-12 ：

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101001759833
IPC(主分类) : C23C 16/50
专利号 : 200720171858X
合同备案号 : 2010440020002
让与人 : 李毅
受让人 : 深圳市创益科技发展有限公司
实用新型名称 : 太阳能电池沉积系统中的射频放电装置
申请日 : 20070918
授权公告日 : 20080702
许可种类 : 排他许可
备案日期 : 20100317

2009-03-04 ：

专利实施许可合同的备案

合同备案号 : 2008440000460
让与人 : 李毅
受让人 : 深圳市创益科技发展有限公司
发明名称 : 太阳能电池沉积系统中的射频放电装置
申请日 : 20070918
授权公告日 : 20080702
许可种类 : 排他许可
备案日期 : 2008.12.8
合同履行期限 : 2008.10.4至2009.10.4合同变更

2008-07-02 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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