晶圆针测机的转换接口装置
专利权的终止
摘要
本实用新型提供一种晶圆针测机的转换接口装置,其包含一测试头、一针测卡以及至少一软质排线。本实用新型利用上述软质排线直接电性连接测试头的功能板以及针测卡,如此不仅组装容易并可有效节省成本,更可有效降低晶粒测试时的动态阻抗和杂散电容,以提高晶粒电性测试可靠度。
基本信息
专利标题 :
晶圆针测机的转换接口装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720306980.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-11-23
授权号 :
CN201141871Y
授权日 :
2008-10-29
发明人 :
倪建青
申请人 :
京元电子股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾新竹市
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
陈肖梅
优先权 :
CN200720306980.3
主分类号 :
G01R1/02
IPC分类号 :
G01R1/02 G01R31/26 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
法律状态
2017-12-26 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : G01R 1/02
申请日 : 20071123
授权公告日 : 20081029
申请日 : 20071123
授权公告日 : 20081029
2008-10-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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