晶圆针测机用空气净化装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种晶圆针测机用空气净化装置，所述净化装置设置于所述晶圆针测机的一侧，其特征在于：包括壳体，所述壳体内设置有风机，所述壳体的进风端设置有格栅挡板，所述壳体的出风端设置有用于净化空气的滤芯，外部气流进入壳体后通过滤芯的进一步过滤进入到晶圆针测机。本实用新型的有益效果体现在：设置于晶圆针测机的一侧，通过加装滤芯，使过滤后的空气进入到机台内部，从而保证机台内部呈现正压，减少内部微尘进入，避免晶圆受污染。
基本信息
专利标题 ：
晶圆针测机用空气净化装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022069343.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-21
授权号 ：
CN213725397U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
车伟峰唐晓辉
申请人 ：
矽品科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区凤里街288号
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
蒋慧妮
优先权 ：
CN202022069343.7
主分类号 ：
B01D46/10
IPC分类号 ：
B01D46/10 H01L21/66
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器，如聚尘器
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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