一种针测机晶圆传输机构手臂
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆传输机械手技术领域，公开了一种针测机晶圆传输机构手臂，包括：机械手、换位机构，通过换位机构改变清理构件与吸附构件的位置关系，吸附构件利用真空吸盘固定吸附第一晶圆，对第一晶圆起支撑作用，清理构件靠近第一晶圆时利用吸液口吸取第一晶圆上残留的抛光液，用于对第一晶圆进行清理。该机械手臂通过换位机构改变吸附构件与清理构件的位置关系，使得两构件相互远离，避免影响另一工件工作，此外，换位机构连接有吸附构件和清理构件，吸附构件与夹爪配合夹持，进一步稳定夹持晶圆，清理构件对夹爪表面进行清理，避免夹爪上残留的抛光液污染后续夹持的晶圆。
基本信息
专利标题 ：
一种针测机晶圆传输机构手臂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122899615.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-24
授权号 ：
CN216698315U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
张直
申请人 ：
张直
申请人地址 ：
上海市黄浦区永寿路50号
代理机构 ：
深圳市洪荒之力专利代理有限公司
代理人 ：
李向丹
优先权 ：
CN202122899615.0
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67 H01L21/683 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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