一种晶圆盒传输机构
授权
摘要
本申请涉及一种晶圆盒传输机构，成对的长方形框架结构的抓取架能够在旋转驱动件的转动下向相反方向转动，并能够抵靠住晶圆盒的侧边凸缘，抓取架由通过紧固螺母固定在支撑架上的伸入U形的支撑架内的U形抓取杆组成，U形抓取杆可以根据实际需要使用的清洗液的情况更换U形抓取杆，从而使U形抓取杆能够与清洗液形成配合关系，使U形抓取杆能够使用不同酸碱性的清洗液。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆盒传输机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021007239.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-04
授权号 ：
CN211929456U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
钱诚李刚童建
申请人 ：
无锡亚电智能装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市无锡新吴区无锡中关村软件园30号楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021007239.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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