一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构,包括结构主体、晶圆、夹持机构与连接构件,所述连接构件一侧设置有连接杆,所述连接杆底端设置有气缸,所述气缸底端设置有伸缩杆,所述伸缩杆底端设有移动座,所述移动座内侧底部设有驱动机构,所述驱动机构的输出端传动连接有传动轴,且所述传动轴末端连接有转动环,所述转动环一侧表面设置有环形管,所述环形管一侧设置有吹扫机构;通过设计了气缸、伸缩杆、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管,当晶圆从工艺箱中取出进行传送时,氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫,使得吹扫的更加彻底,保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响,结构简单,实用性高。

基本信息
专利标题 :
一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114453338A
申请号 :
CN202210070349.7
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-01-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈兆荣
申请人 :
赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山区安镇街道丹山路88号锡东创融大厦C座1210
代理机构 :
北京中创博腾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
戴鹏
优先权 :
CN202210070349.7
主分类号 :
B08B5/02
IPC分类号 :
B08B5/02  B08B13/00  H01L21/67  H01L21/677  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁,如吹清凹处
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 5/02
申请日 : 20220121
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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