一种晶圆转换器
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆转换器，包括平台、固定架、分体式推杆和推动装置；所述平台包括初始晶舟放置区和目的晶舟放置区；所述固定架固定在初始晶舟放置区远离目的晶舟放置区的一端，所述分体式推杆顶部与固定架顶部可拆卸式连接，所述分体式推杆底部可拆卸式连接在所述推动装置的一端，所述推动装置另一端固定在平台上；所述分体式推杆由多个推杆模块可拆卸式连接组成，推动所述推动装置能够致使所述推杆模块将晶圆由初始晶舟放置区推送至目的晶舟放置区。本实用新型的优点在于，通过分体式推杆与所述推动装置和固定架可拆卸式连接，以及分体式推杆自身的可拆卸连接，不仅能够实现晶圆的整批转换，还能实现晶圆的分批转换，适用性更强。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆转换器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020474229.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-02
授权号 ：
CN211507590U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
姜禄
申请人 ：
安徽超元半导体有限公司
申请人地址 ：
安徽省池州市池州经济技术开发区电子信息产业园17号
代理机构 ：
合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杜丹丹
优先权 ：
CN202020474229.X
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
