一种相变存储器单元结构
专利权的终止
摘要
一种相变存储器单元结构,使用于微电子学中的纳米材料制造工艺中。该结构包括:在绝缘衬底上依次沉积的底电极、过渡层、绝热层、相变材料层、过渡层和顶电极,特征在于:所述的相变材料层下方设置了具有中空槽的中空槽状钨电极,中空槽内填充有绝热材料SiO2,以减少发热部分接触面从而减少结晶区域体积,所述中空槽状钨电极的内半径为钨电极外半径的0.4倍以上,当单元两端的电流超过阈值电流后相变材料产生由非晶相到晶体相的转变。钨电极由于采用了中空结构,从而提高了初始晶化与完全晶化状态之间的电阻差,两种稳定晶化状态之间可以通过不同的操作电流实现更多的中间电阻状态,提高了相变存储器的存储能力。
基本信息
专利标题 :
一种相变存储器单元结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820122450.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-09-05
授权号 :
CN201285770Y
授权日 :
2009-08-05
发明人 :
张泽王珂成岩刘攀韩晓东
申请人 :
北京工业大学
申请人地址 :
100022北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 :
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 :
张 慧
优先权 :
CN200820122450.8
主分类号 :
H01L45/00
IPC分类号 :
H01L45/00 G11C16/02 G11C11/56
相关图片
法律状态
2013-11-06 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101535925984
IPC(主分类) : H01L 45/00
专利号 : ZL2008201224508
申请日 : 20080905
授权公告日 : 20090805
终止日期 : 20120905
号牌文件序号 : 101535925984
IPC(主分类) : H01L 45/00
专利号 : ZL2008201224508
申请日 : 20080905
授权公告日 : 20090805
终止日期 : 20120905
2009-08-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN201285770Y.PDF
PDF下载