一种化学气相淀积反应器及反应腔
专利权的终止
摘要
本实用新型揭示了一种用于化学气相淀积反应器及其反应腔。其中，加热装置由若干单独测控的扇形加热单元组成，在所述扇形加热单元之间可以放置衬底载盘支撑或反应腔顶盖支撑。所述加热装置具有结构简单，操作与维修方便，制造和使用成本低等优点，适用于大直径化学气相淀积反应器反应腔中加热环形或圆形或由若干扇形衬底载盘单元组成的环形或圆形衬底载盘。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相淀积反应器及反应腔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820133387.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-09-02
授权号 ：
CN201313935Y
授权日 ：
2009-09-23
发明人 ：
李刚
申请人 ：
李刚
申请人地址 ：
518055广东省深圳市南山区西丽镇留仙大道东南国丽城花园5栋L1002
代理机构 ：
深圳市顺天达专利商标代理有限公司
代理人 ：
林俭良
优先权 ：
CN200820133387.8
主分类号 ：
C23C16/46
IPC分类号 ：
C23C16/46 C23C16/458
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2015-10-28 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101631608092
IPC(主分类) : C23C 16/46
专利号 : ZL2008201333878
申请日 : 20080902
授权公告日 : 20090923
终止日期 : 20140902
号牌文件序号 : 101631608092
IPC(主分类) : C23C 16/46
专利号 : ZL2008201333878
申请日 : 20080902
授权公告日 : 20090923
终止日期 : 20140902
2009-09-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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