大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置
避免重复授权放弃专利权
摘要

本实用新型公开了一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影的装置,装置包括控制系统、加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、光刻胶玻璃板自动传输系统和风干系统;方法为:在控制系统上设定和输入显影参数,控制加热系统待药液温度达到设定值,自动传输系统将光刻胶板送进显影槽体,触发循环过滤喷淋系统,使药液从喷淋头处喷出,实现自动喷淋显影,显影结束,由另一循环过滤喷淋系统,获得去离子水,清洗光刻胶玻璃板表面滞留的药液;实现水洗;通过自动传输系统将光刻胶玻璃板送至风干区,吹干光刻胶玻璃板表面的水体,完成显影。本实用新型克服了人为操作显影带来的时间、平稳性误差导致显影深度不均匀和重复性差等不足之处和缺陷。

基本信息
专利标题 :
大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820153981.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-10-14
授权号 :
CN201298143Y
授权日 :
2009-08-26
发明人 :
姜兆华张伟
申请人 :
上海市激光技术研究所
申请人地址 :
200233上海市徐汇区宜山路770号
代理机构 :
上海申汇专利代理有限公司
代理人 :
吴宝根
优先权 :
CN200820153981.3
主分类号 :
G03F7/30
IPC分类号 :
G03F7/30  G05B19/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2010-12-29 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101056999385
IPC(主分类) : G03F 7/30
专利号 : ZL2008201539813
申请日 : 20081014
授权公告日 : 20090826
放弃生效日 : 20081014
2009-08-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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