用于控制电子电路的制造过程的系统
专利权的终止
摘要
一种用于控制电子电路的制造过程的系统，所述系统包括：存储单元，其适用于存储电子电路的层的图像信息；处理器，其适用于计算在预期要相互对齐的电子电路的层之间的至少一个层不对齐；一个或多个自动光学检查系统，其适用于获得图像数据；一个或多个直接成像设备，其适用于将光阻材料曝光到辐射，以提供图案；以及一个或多个另外的制造工具，其适用于显影和蚀刻。
基本信息
专利标题 ：
用于控制电子电路的制造过程的系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200890100086.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-07-22
授权号 ：
CN202189297U
授权日 ：
2012-04-11
发明人 ：
R·阿米特
申请人 ：
康代有限公司
申请人地址 ：
以色列米得哈曼
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
刘瑜
优先权 ：
CN200890100086.3
主分类号 ：
G06F1/12
IPC分类号 ：
G06F1/12 G06F12/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06F
电数字数据处理
G06F1/00
不包括在G06F3/00至G06F13/00和G06F21/00各组的数据处理设备的零部件
G06F1/04
产生时钟信号的或分配时钟信号的，或者直接从这个设备中得出信号的
G06F1/12
不同时钟信号的同步
法律状态
2018-08-14 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : G06F 1/12
申请日 : 20080722
授权公告日 : 20120411
申请日 : 20080722
授权公告日 : 20120411
2012-04-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN202189297U.PDF
PDF下载
