基板托架
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摘要

本发明涉及一种基板托架,该基板托架具有基板托架板,该基板托架板具有正面的基板托架表面,用于分别容纳基板的至少一个基板容纳区设置在该正面的基板托架表面上。本发明的任务是提出一种基板托架,该基板托架在不影响基板性质或基板加工的情况下尽可能地确保基板的安全支承以及在快速处理时简单且无损坏地从基板托架上取走基板。该任务通过本发明如此完成,即,基板容纳区具有内区和围绕该内区延伸的外区,其中,该外区具有相互间隔的、相对于内区表面突出的、用于支承基板边缘区的高台,其中在高台之间设有通风通道。

基本信息
专利标题 :
基板托架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN108140607A
申请号 :
CN201680049161.7
公开(公告)日 :
2018-06-08
申请日 :
2016-08-02
授权号 :
CN108140607B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
S·拉舍克E·安索奇M·克尔C·博姆
申请人 :
梅耶博格(德国)股份有限公司
申请人地址 :
德国霍亨斯泰因-埃尔恩斯塔尔
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
吕俊刚
优先权 :
CN201680049161.7
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-04-15 :
授权
2018-08-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/687
申请日 : 20160802
2018-06-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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