压电传感器制造方法及利用其的压电传感器

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摘要

本发明的压电传感器制造方法包括如下步骤：刻蚀底板而形成包含多个凹槽的传感器阵列模式形式的模具；将压电材料注入至所述多个凹槽中的里侧凹槽，并将导电材料注入外侧凹槽；对所述注入的压电材料及导电材料进行烧结；刻蚀所述底板，以使所述压电材料及导电材料突出，而形成压电杆及导电杆；将绝缘材料填充至所述底板而形成绝缘层；将所述绝缘层平坦化，直至所述压电杆及导电杆露出；在所述压电材料及导电材料的第一面形成第一电极；在形成有所述第一电极的底板上粘结工艺基板；将所述底板平坦化，直至所述压电杆及导电杆露出；及在所述压电杆及导电杆的第二面形成第二电极。

基本信息

专利标题：

压电传感器制造方法及利用其的压电传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN108447884A

申请号：

CN201810153213.6

公开（公告）日：

2018-08-24

申请日：

2018-02-13

授权号：

CN108447884B

授权日：

2022-04-15

发明人：

房昌爀

申请人：

株式会社BEFS

申请人地址：

韩国首尔市

代理机构：

北京冠和权律师事务所

代理人：

朱健

优先权：

CN201810153213.6

主分类号：

H01L27/20

IPC分类号：

H01L27/20 H01L41/047 H01L41/29 H01L41/312