本发明公开一种激光清洁装置及方法，以单一激光模块通过波长切换单元切换激光光束的波长，并配合制作工艺需求以适当波长及能量的激光光束达成试片(探针卡)的清洁。此方法包含：以激光模块产生一激光光束，通过波长切换单元依据制作工艺需求切换输出的波长，并通过激光光束调控单元调控激光光束的能量大小，再由光路传导单元进行激光光束传导，将激光光束于试片上进行激光清洁的动作，由吸嘴单元进行清洁碎屑排除，由移载平台使激光光束与试片相对移动以达成整面试片的清洁，由控制模块控制波长切换单元、激光光束调控单元与移载平台，以适当波长及能量的激光光束达成试片的全激光清洁的目标，进而提升激光清洁的品质。